ซีรีส์ E-RPNS เป็นระบบไนไตรด์ไอออนพัลส์แบบเบลล์ที่ทันสมัยออกแบบสำหรับการผลิตระดับสูง โดยผสานการอัดอุณหภูมิจากแหล่งความร้อนคู่ ควบคุมอัจฉริยะด้วย AI และมาตรฐานการประมวลผลระดับอวกาศ เต้า E-RPNS สามารถส่งมอบเวลาการประมวลผลที่รวดเร็วมาก ความสม่ำเสมอของชั้นดีไซน์และประสิทธิภาพการแพร่แบบลึกในขณะที่ลดการใช้พลังงานอย่างมาก
ภาพรวมข้อกำหนดทางเทคนิค
-
โครงสร้างเต้า: การตั้งค่าห้องเบลล์
-
ประเภทแหล่งจ่ายไฟ: DC พัลส์ความถี่สูง / แหล่งพลาสมา
-
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: ±5°C (ระบบผนังที่อัดอุณหภูมิอย่าง فعال)
-
ระยะเวลาการประมวลผล: 1 – 2 ชั่วโมง (ขึ้นอยู่กับการใช้งาน)
-
ความลึกของชั้นแพร่: > 100 μm
-
อุณหภูมิปรับแต่งสูงสุด: สูงถึง 900°C (สำหรับไททาเนียม/อะลอย์พิเศษ)
-
ความเข้ากันได้ของกระบวนการ: ไนไตรด์พลาสมา ไนโตรคาร์บิวไรซิ่ง และออกซิเดชันหลังกระบวนการ
-
ความสอดคล้องกับอุตสาหกรรม: มาตรฐานอวกาศ AMS 2750 / AMS 2759
คุณสมบัติสำคัญและข้อได้เปรียบทางเทคโนโลยี
1. การอัดอุณหภูมิร่วมกันของแหล่งความร้อนคู่ (โหมดความร้อนคู่)
-
ระบบการอัดอุณหภูมิร่วมกัน: ใช้ระบบอัดอุณหภูมิเสริมที่จับคู่กับการระเบิดไอออนที่มีพลังงานสูงเพื่อให้การกระจายความร้อนที่รวดเร็วและสม่ำเสมอ
-
การชดเชยอุณหภูมิอย่างแม่นยำ: โมดูลอัดอุณหภูมิเสริมรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายในห้องโดยรวม ทำให้แหล่งพลาสมาเน้นการสร้างไอออนที่มีขนาดและความหนาแน่นสูงอย่างเต็มที่
-
ผนังที่อัดอุณหภูมิอย่าง فعالทั่วพื้นที่: ผนังห้องทั้งหมดถูกอัดอุณหภูมิอย่าง فعالถึงอุณหภูมิทำงานของกระบวนการที่แน่นอน ลดความชันของอุณหภูมิทั่ว工件อย่างมากโดยมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายใน ±5°C
-
การฉนวนความร้อนที่เหนือกว่า: การออกแบบฉนวนแบบครอบคลุมเต็มลดการสูญเสียความร้อนจากการแผ่รังสีอย่างมากและลดการใช้พลังงาน
2. ควบคุม AI อัจฉริยะและประสิทธิภาพความเร็วสูง
-
ควบคุมชิปอัจฉริยะ AI: ขับเคลื่อนด้วยไมโครโปรเซสเซอร์ AI ขั้นสูงสำหรับการอัตโนมัติตลอดกระบวนการ การปรับพารามิเตอร์อย่างแม่นยำ และความน่าเชื่อถือในการทำงานสูง
-
การประมวลผลที่รวดเร็วมาก: ความคล่องของไอออนพลาสมาในระดับสูงมากช่วยลดเวลาไซเคิลได้ การบำบัดไนไตรด์สามารถเสร็จสมบูรณ์ในเวลาเพียง 1–2 ชั่วโมง เพิ่มประสิทธิภาพเป็นหลายเท่ามากเมื่อเปรียบเทียบกับกระบวนการทั่วไป
3. การแพร่แบบลึกและโครงสร้างไมโครที่เหนือกว่า
-
ชั้นแพร่แบบลึกมาก: สามารถให้ความลึกของชั้นแพร่ที่เกิน 100 μm พร้อมกับความแข็งแรงของพันธะที่เหนือกว่า เพิ่มความต้านทานความเหนื่อยและอายุการใช้งานต่อการสึกหรออย่างมาก
-
ความหนาแน่นและสม่ำเสมอสูง: การกระจายความหนาแน่นของพลาสมาที่สม่ำเสมอลบการเกิดรูพรุนและข้อบกพร่องรูขนาดเล็ก สร้างชั้นสารประกอบที่หนาแน่นมากด้วยความยั่งยืนที่แข็งแกร่ง
4. การทำงานที่หลากหลาย ปลอดภัยและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม
-
ไม่มีอาร์กและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม: ใช้เคมีของก๊าซไนโตรเจนบริสุทธิ์โดยไม่มีความเสี่ยงจากอาร์ก มอบกระบวนการที่เป็นสีเขียวและไร้การปนเปื้อนที่สอดคล้องกับมาตรฐานสิ่งแวดล้อมทั่วโลกที่เข้มงวด
-
ความสามารถในการประมวลผลหลายกระบวนการ: รองรับการไนไตรด์ไอออน ไนโตรคาร์บิวไรซิ่ง และกระบวนการไนไตรด์ไอออน + ออกซิเดชันหลังกระบวนการ
-
การปรับแต่งอุณหภูมิสูง: มีให้เลือกใช้การตั้งค่าอุณหภูมิสูงปรับแต่งได้สูงถึง 900°C สำหรับการไนไตรด์พิเศษของอะลอย์ไททาเนียม อะลอย์แทนเทียม และโลหะแปลกใหม่
-
สอดคล้องกับมาตรฐานอวกาศ: ออกแบบโดยสอดคล้องกับมาตรฐานกระบวนการอวกาศ AMS 2750 และ AMS 2759 อย่างเต็มที่
ผลิตภัณฑ์แนะนำ