เครื่องสร้างพลาสมาเป็นพัลส์ความถี่สูง

ในการบำบัดความร้อนในสุญญากาศระดับสูง ไนไตรด์พลาสมา และการสะสมไอออนทางกายภาพ (PVD) ความเสถียรของแหล่งพลังงานไฟฟ้าตัดสินผลคุณภาพสุดท้ายของชั้นผิว สายไฟตรงแบบมาตรฐาน (DC) มักประสบปัญหาการปล่อยพลาสมาไม่เสถียร การถ่ายโอนพลังงานช้า และความเสี่ยงสูงของการไหม้จากอาร์คไฟฟ้าที่สามารถทำลายแม่พิมพ์ที่ละเอียดอ่อนและมีค่าแพงได้

เพื่อแก้ไขปัญหาเทคนิคเหล่านี้ Jiangsu Juchuang Automation Technology Co., Ltd. ได้ออกแบบ เครื่องสร้างพลาสมาจากพัลส์ความถี่สูงอำนาจสูง โดยได้รับการสนับสนุนจากทรัพย์สินทางปัญญาเฉพาะของเรา สายไฟรุ่นถัดไปนี้จะยกระดับแรงดันและกระแสไฟฟ้าเป็นค่าสูงสุดทันที ซึ่งเพิ่มอัตราการไอออนของก๊าซภายในห้องสุญญากาศอย่างมาก มันเป็นเครื่องยนต์พลังงานสูงสุดสำหรับการปรับแต่งวัสดุขั้นสูงและการเคลือบเครื่องมืออัตราเร็วสูง

1. สามเสาหลักของพลังงานและประสิทธิภาพ

เทคโนโลยีพลาสมาจากพัลส์ความถี่สูงของเราเปลี่ยนแปลงกระบวนการสุญญากาศแบบดั้งเดิมอย่างสมบูรณ์ผ่านสามข้อได้เปรียบในการทำงานที่สำคัญ:

การปฏิวัติประสิทธิภาพ

โดยการส่งพัลส์ที่มีพลังงานสูงและมีความเข้มข้น เครื่องสร้างจะเร่งการแพร่ของสารเคมีในระดับอะตอม ซึ่งทำให้ช่วงกระบวนการไนไตรด์เชิง فعالหลักสั้นลงเหลือเพียง 1 ถึง 2 ชั่วโมง (ไม่รวมรอบการอัดความร้อนและการระบายความร้อนของห้องแบบมาตรฐาน) การอัปเกรดความเร็วที่สำคัญนี้ช่วยลดการใช้ไฟฟ้าและลดต้นทุนการดำเนินงานทั้งหมดของสวนงานของคุณ

ประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยม

อัตราการไอออนสูงผลักอะตอมไนโตรเจนเชิง فعالให้ลึกและเร็วขึ้นในเมทริกซ์เหล็ก ซึ่งสร้างชั้นสารผสมที่หนาแน่นและสม่ำเสมอสุดๆ พร้อมความลึกของชั้นการแพร่ที่ลึกกว่า 100 ไมโครเมตร (um) ชิ้นงานของคุณจะได้รับความต้านทานที่ยอดเยี่ยมต่อการสึกหรอทางกลศาสตร์ ความเหนื่อยล้าแบบวงจร และการกัดกร่อนที่รุนแรง

ความปลอดภัยในการประมวลผลอย่างสมบูรณ์

เพื่อป้องกันการปล่อยอาร์คในพื้นที่จากการทำลายแม่พิมพ์ที่มีค่าแพง สายไฟของเราประกอบด้วยหน่วยตรวจสอบดิจิทัลที่รวดเร็วสุด ระบบตรวจจับความผิดปกติและยับยั้งอาร์คไฟฟ้าในเวลาน้อยกว่า 20 นาโนثانیosecond (ns) การตอบสนองที่รวดเร็วเช่นฟ้าผ่าเหล่านี้จะได้กำจัดความเสี่ยงของการไหม้จากอาร์คทั้งหมด ปกป้องขอบแม่พิมพ์ที่ละเอียดอ่อนและรับประกันผลผลิตจำนวนมากที่สูง

2. ควบคุมดิจิทัลขั้นสูงและการยับยั้งอาร์ค

ที่แกนกลางของเครื่องสร้างพัลส์ของ Juchuang คือตัวควบคุมดิจิทัลความเร็วสูง ที่ทำงานที่ ความถี่การสุ่มตัวอย่าง 100 MHz มันรองรับการควบคุมที่แม่นยำและแบบเรียลไทม์ในสามช่วงการทำงานที่สำคัญ:

1. พลังงานตรวจสอบอาร์ค (E0): การติดตาม непрерывของแรงดันและกระแสไฟฟ้าที่ปล่อยเพื่อจับอาการเริ่มต้นของการเปลี่ยนจากแสงเรืองไปเป็นอาร์ค

2. พลังงานการทำงานของอาร์ค (E1): หน้าต่างการตรวจจับทันทีโดยระบบบันทึกเหตุการณ์ไมโครอาร์คที่แท้จริง

3. พลังงานยับยั้งอาร์ค (E2): วงจรการปิดและการระบายพลังงานทันที

การจัดการพลังงานอัจฉริยะนี้รับประกันว่าเวลาพัลส์พลังงานสูงสุดจะยังคงอยู่ใต้ 100 นาโนثانیosecond (ns) สร้างคลื่นสี่เหลี่ยมที่เสถียรยอดเยี่ยม ซึ่งป้องกันการเพิ่มพลังงานสูงและรักษาแสงเรืองของพลาสมาที่ราบรื่นและต่อเนื่องตลอดรอบการประมวลผลทั้งหมด

3. โครงสร้างเอาต์พุตแบบซแตกที่สามารถขยายได้

สำหรับการดำเนินงานอุตสาหกรรมขนาดใหญ่—เช่น การบำบัดเฟืองอวกาศที่หนักหรือแม่พิมพ์สแตมป์ 45 ตัน—แหล่งพลังงานเดียวไม่เพียงพอ ระบบของเราถูกสร้างด้วยเลย์เอาต์ตู้โมดูลาร์ที่บูรณาการสูง ซึ่งรองรับเอาต์พุตแบบขนานแบบซแตก ดังแสดงใน image_0043d8.png:

• โมดูลซแตกได้ถึง 8 ตัว: ลูกค้าสามารถเชื่อมต่อเครื่องจ่ายไฟฟ้าเครื่องสร้างได้ถึง 8 ตัวแบบขนานเพื่อตรงกับปริมาณและข้อกำหนดการโหลดของห้องสุญญากาศขนาดใหญ่สุด

• ควบคุมมาสเตอร์-สเลฟอัจฉริยะ: เมื่อโมดูลถูกเชื่อมโยง ผู้ปฏิบัติงาน只需要在มาสเตอร์终极端ตั้งค่าพารามิเตอร์ ระบบจะกำหนดค่าและซิงโครไนซ์หน่วยสเลฟทั้งหมดที่เชื่อมต่ออัตโนมัติ

• การตอบสนองอาร์คแบบซิงโครไนซ์อัตโนมัติ: ในโครงสร้างแบบซแตก บัสขนานจะซิงโครไนซ์การป้องกันอาร์คทั่วโมดูลทั้งหมด หากหน่วยใดหนึ่งตรวจจับเหตุการณ์อาร์ค เน็ตเวิร์กทั้งหมดจะตอบสนองพร้อมกันเพื่อปกป้องชิ้นงาน

• การจัดสรรพลังงานแบบไดนามิก: ระบบจะขยายหน่วยพลังงานที่ใช้งานอยู่ขึ้นหรือลงอัตโนมัติตามสภาพสุญญากาศแบบเรียลไทม์และพื้นที่ผิวโหลด รับประกันการใช้พลังงานสูงสุดและอายุชีวิตฮาร์ดแวร์ยาวนาน

4. ข้อมูลจำเพาะเทคนิคสำคัญ

เครื่องสร้างพลาสมาจากพัลส์ของเราได้รับการออกแบบด้วยส่วนประกอบที่มีความแม่นยำสูงเพื่อรับประกันการดำเนินงานอุตสาหกรรมที่ต่อเนื่องและหนัก:

5. การประยุกต์ใช้อุตสาหกรรมหลัก

สายไฟพลาสมาจากพัลส์ความถี่สูงของ Juchuang เป็นเครื่องยนต์อุดมคติในการอัปเกรดระบบบำบัดผิวสุญญากาศแบบดั้งเดิม:

• เตาไนไตรด์อุตสาหกรรม: การอัปเกรดระบบ DC ที่มีประสิทธิภาพต่ำแบบดั้งเดิมเป็นการตั้งค่าไนไตรด์พลาสมาจากพัลส์ความเร็วสูง

• การสเปตเตอร์ PVD ที่มีประสิทธิภาพสูง: ให้พลังงานที่เสถียรและมีการไอออนสูงเพื่อระเหยบล็อกเป้าหมายที่แข็งโดยไม่มีข้อบกพร่องจากหยด

• PACVD อุณหภูมิต่ำ (การเคลือบ DLC): รักษาเขตพลาสมาอุณหภูมิต่ำที่เสถียรเพื่อฝังการเคลือบคาร์บอนคล้ายเพชรที่หนาแน่นและมีความเสียดสีต่ำ

• การอัปเกรดสายไฟทดแทน: แทนที่ระบบสายไฟที่ล้าสมัยและมีประสิทธิภาพต่ำบนห้องสุญญากาศที่มีอยู่เพื่อปรับปรุงความเร็วรอบและกำจัดการไหม้ขอบ